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常用压力传感器的特点以及差异

常用压力传感器的特点以及差异
传感器技术是现代科学技术发展水平的标志之一,而压力传感器技术是传感器技术的重要分支。目前各种类型的压力传感器,如扩散硅、电容式、硅蓝宝石、陶瓷厚膜、金属应变电式等类型,正广泛应用于国民出产的各行业以及科学技术领域。下面就简朴先容一些常用压力传感器的特点及其相互之间的差异。

1、蓝宝石压力传感器:蓝宝石压力传感器利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无与伦比的计量特征。
蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲惫和蠕变现象;蓝宝石比硅要坚固,硬度更高、不怕形变;而且蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘性,因此,利用硅-蓝宝石制造的半导体敏感元件,对温度变化不敏感,即使高温前提下,也有着很好的工作特性;蓝宝石的抗辐射特性极强;另外,硅-蓝宝石半导体敏感元件无P-N飘移,因此,从根本上简化了制造工艺,进步了重复性,确保了高成品率。
用硅-蓝宝石半导体敏感元件制造的压力传感器和变送器,可在*恶劣的工作前提下正常工作,并且可靠性高,精度好,温度误差极小,性价比高。

2、扩散硅压力传感器:扩散硅压力传感器的工作原理是:被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的尺度丈量信号。

3、陶瓷压力传感器:抗侵蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递,压力直接作用在陶瓷膜片的前表面、室膜片的表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥(闭桥),因为压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性,与激励电压成正比的电压信号,尺度的信号根据压气力程的不同标定为2.0、3.0、3.3MV等,可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定,传感用具有很高的温度不乱性和时间不乱性,传感器自带温度补偿0℃~70℃,并可以和绝大多数介质直接接触。
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