工业用超纯水设备的工艺大致分成以下几种

1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→砂炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→砂炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的*新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→砂炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　超滤设备

　　(1) 超滤原理

　　超滤是一种分离技术，能够将溶液净化、分离或者浓缩。超滤是介于微滤和纳滤之间的一种膜过程，膜孔径范围为0.5μm(接近微滤)~1nm(接近纳滤)。超滤的典型应用是从溶液中分离大分子物质(如细菌)和胶体，通常认为，所能分离的溶质相对分子质量下限为几千。超滤膜可视为多孔膜，其截留取决于膜的过滤孔径和溶质的大小、形状。溶剂的传递正比于操作压力。

　　(2) 微滤纳滤超滤预处理装置、井水河水石英砂活性碳过滤系统、混床超纯水EDI系统、锅炉软化水设备、超纯水超滤装置超滤膜的类型

　　超滤膜是多孔的，但与微滤膜相比，其结构更具有不对称性，这种不对称膜包括一个很薄的皮层(一般<1μm)和一个多孔亚层。所以超滤膜的表征主要是皮层表征即厚度。孔径分布和表面孔隙率，超滤膜皮层典型的孔径在2~100nm范围内。

　　按制膜材料分类，超滤膜可分为有机膜和无机膜。

　　按膜的外形特征可将超滤膜分为：平板膜、管式超滤膜，内径>10nm、毛细管式超滤膜，内径0.5~10.0nm、中空纤维超滤膜，内径<0.5nm、多孔超滤膜。

　　(3)制膜材料 可用于制造超滤膜的材料很多，分为有机高分子材料和无机材料两大类。

　　①有机高分子材料

　　纤维素酯类：主要有二醋酸纤维素(CA)，三醋酸纤维素(CTA)，混合纤维素(CACN)等。这类材料制造的超滤膜亲水性好、成孔性好，材料来源广泛、稳定，成本较低。