净化工程为什么要控制温湿度?

净化工程为什么要控制温湿度?,控制,知识,温湿度,您的,净化工程,净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，*应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，...